evolução mems
Category: Outro
Atualizado: 1 nov 2019
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Created byLeandro Dimkoski
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Transistor (J. Bardeen, W. H. Brattain e W. Shockley Bell Lab)C.S. Smith : "Piezoresistance Effect in Ge and Si"Comercialização dos primeiros sensores de esforço de Si1º Circuito Integrado (de Ge) (Jack Kilby, da Texas InstrumentsR. Feynman : “There’s plenty of room at the bottom”Demonstração dos primeiros sensores de pressãoH.C.Nathanson R : “The Resonant gate transistor”Demonstração dos primeiros acelerometros de SilícioDemonstração das primeiras bocais microusinadosK.Petersen : “Silicon as a mechanical Material”Comercialização dos primeiros sensores de pressão integrados
(Honeywell)Desenvolvimento da tecnologia LIGA (W. Ehrfeld et. Al.)Primeira conferencia de MEMSDécada dos Sensores
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